> Тогда-то хоть свои станки были и новые выпускались.

СССР как раз почти не сумел в CNC, жалкие отсталые потуги, в паре с неумением в cad/cae убили его экспорт станков. И его гордость, прецизионные станки, стали бесполезным металлоломом, неэкспортабельным. Как и все что основано на советских микросхемах. Интел в каком году 386 выкатил? А что СССР тогда вообще мог с своей литографией тогда? У него и не случилось этой промышленной революции.

> Сами своё оборудование для фотолитографии делали и использовали.

Сейчас такие техпроцессы в лабах и на коленке делают, только ценность результата около ноля. Чисто поржать - мол, сделал в гараже микросхему сам. Параметры с таким техпроцессом - такие же как у советской электроники. Т.е. это не продашь.

> А ныне, да, ни того, ни другого нет.

СОВРЕМЕННЫЙ вариант фотолитографии с мелкими нормами умеет 1 фирма на планете - ASML. И она находится в Нидерландах. Такой вот облом для импортозаместителей. Но вы можете попытаться это повторить, не забудьте засечь время. Может, годиков за 20 управитесь. Только к тому времени это опять станет не актуально. Да и загнется за это время все что может загнуться, свалившись в каменный век.